适用范围：
．晶圆代工
．晶圆再生
．精密电子
．生化制药

制程:
．晶圆取放
．精密电子料件传送
．生化制药产业各式检验

优点：
．体积小
．重现精度高
．ISO CLASS 1
．动作灵活--特别适合应用于狭小空间
．工作范围大，不需外加直线滑轨即可对应并排3 PORT，节省设备成本及减少污染机会。